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半导体制造流程

制造流程

AMHS
7
测试分选
2
化学机械抛光
2
薄膜沉积
4
热处理
2
掺杂
0
清洗
8
薄膜生长
0
涂胶显影
2
光刻
3
刻蚀
5
去胶
0
备注：数字代表案例个数

清洗

薄膜生长

光刻

刻蚀

掺杂

热处理

薄膜沉积

化学机器抛光

测试分选

清洗机

氧化炉

氧化退火
一体炉

涂胶显影机

刻蚀机

离子注入机

激光退火

RTP设备

传统炉管

PVD

CVD

ALD

电镀

CMP

量测设备

光刻机

去胶机
清洗
  • 清洗
  • 薄膜生长
  • 光刻
  • 刻蚀
  • 掺杂
  • 热处理
  • 薄膜沉积
  • 化学机器抛光
  • 测试分选
  • 清洗机
  • 氧化炉
  • 氧化退火一体炉
  • 涂胶显影机
  • 刻蚀机
  • 离子注入机
  • 激光退火
  • RTP设备
  • 传统炉管
  • PVD
  • CVD
  • ALD
  • 电镀
  • CMP
  • 量测设备
  • 光刻机
  • 去胶机

半导体生产中的wafer mapping检测方案

利用智能激光传感器，判断
wafer mapping的异常情况
  • 半导体
  • 检查
  • 传感器
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EFEM设备中的上料判断方案

利用光纤单元，判断上料时wafer的有无
  • 半导体
  • 加工
  • 传感器
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OHT天车的放卷对中检查应用

利用智能激光传感器，稳定监
测天车放卷升降时的摆动情况
  • 半导体
  • 检查
  • 传感器
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半导体等离子清洗机的引线框架突出检测应用

利用智能激光传感器，实现引
线框架突出的稳定检测
  • 半导体
  • 检查
  • 传感器
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半导体生产中的foup到位检查应用

利用按钮型光电传感器，检测
FOUP盒的落座情况
  • 半导体
  • 检查
  • 传感器
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EFEM多材质晶圆的凸出检测方案

利用光纤传感器，满足不同材质下wafer
凸出检测时的快速部署和调整
  • 半导体
  • 检查
  • 传感器
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EFEM晶圆凸出检测的高性价比方案

利用内置型光电传感器，快速部署
wafer微小凸出检测，实现高性价比
  • 半导体
  • 检查
  • 传感器
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单片清洗机中晶圆的平整检测方案

利用光纤传感器，检测单片清
洗机中晶圆的平整情况
  • 半导体
  • 检查
  • 传感器
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半导体等离子清洗机的引线框架突出检测应用

利用智能激光传感器，实现引
线框架突出的稳定检测
  • 半导体
  • 检查
  • 传感器
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对强腐蚀性有机溶剂进行液位检测的方案

利用具有耐腐蚀性的光纤传感
器，实现有机溶液的液位检测
  • 半导体
  • 检查
  • 传感器
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多干扰场景下的液位检测优化方案

利用光纤传感器，排除气泡、水滴等干
扰因素进行液位检测，防止误判产生
  • 半导体
  • 检查
  • 传感器
了解更多

基于光纤传感的液体有无状态平等检测方案

利用光纤传感器，实现有无液体
状态下的平等检测
  • 半导体
  • 检查
  • 传感器
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非透明管液位检测的传感器抗干扰优化方案

使用液位传感器，排除非透明材
质的液位管的影响进行液位检测
  • 半导体
  • 检查
  • 传感器
了解更多

晶圆清洗机管接头的渗漏监测方案

利用抗化学品腐蚀的漏液检测器，快
速检测管接头处漏液并报警，减少人
工巡检
  • 半导体
  • 检查
  • FA自动化设备
了解更多

清洗机液位智能监测的低成本快速部署方案

利用液位传感器进行检测的快
速部署方案，同时控制成本
  • 半导体
  • 检查
  • 传感器
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涂胶显影机上的温度控制案例

利用温度均一技术，减少调
温时的人工依赖
  • 半导体
  • 加工
  • FA自动化设备
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WEE边缘曝光设备的应用案例

通过轨迹控制技术，实现晶
圆的高精度去边
  • 半导体
  • 加工
  • 传感器
  • FA自动化设备
  • 运动/驱动
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涂胶显影热盘多区高速同步均温控制方案

利用温度均一技术，整体高速同
步升温，各个区域温度保持一致
  • 半导体
  • 维保/厂务
  • FA自动化设备
了解更多

等离子刻蚀机上的温度控制方案

利用PID温控技术，抑制不同
刻蚀功率下的温度干扰
  • 半导体
  • 加工
  • FA自动化设备
了解更多

干法刻蚀机上的温度控制案例

利用PID温控技术，缩短升温
时间，提升同步升温效果
  • 半导体
  • 加工
  • FA自动化设备
了解更多

刻蚀机温度控制升级方案

利用温度控制技术，实现多分
区同步升温，优化刻蚀精度
  • 半导体
  • 加工
  • FA自动化设备
了解更多

单片清洗机中晶圆的平整检测方案

利用光纤传感器，检测单片清
洗机中晶圆的平整情况
  • 半导体
  • 检查
  • 传感器
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半导体生产中的晶圆定位检查应用

利用光纤单元，对送入工艺腔
室前的晶圆进行定位检查
  • 半导体
  • 检查
  • 传感器
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晶圆RTP设备上的温度控制方案

利用温度控制技术，实现不同
测温点上的同步升温
  • 半导体
  • 加工
  • FA自动化设备
了解更多

温控技术在RTP快速退火炉上的应用

利用温度控制技术，实现快速
退火炉上的多路高速同步升温
  • 半导体
  • 加工
  • FA自动化设备
了解更多

原子层沉积设备上的系统控制方案

利用控制技术，提升原子层
沉积设备的性能
  • 半导体
  • 加工
  • FA自动化设备
了解更多

半导体生产中的晶圆定位检查应用

利用智能激光传感器，对送入工
艺腔室前的晶圆进行定位检查
  • 半导体
  • 检查
  • 传感器
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半导体生产中的晶圆定位检查应用

利用光纤单元，对送入工艺腔
室前的晶圆进行定位检查
  • 半导体
  • 检查
  • 传感器
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半导体炉管wafer凸出的远距离稳定检测方案

利用光电开关，进行wafer凸出检
测，轻松实现远距离的稳定检测
  • 半导体
  • 加工
  • 传感器
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半导体生产中的晶圆滑出检测应用

利用智能激光传感器，稳定判
断晶圆在研磨垫上的滑出情况
  • 半导体
  • 检查
  • 传感器
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研磨机wafer预载位的高精度检测方案

利用光电传感器，实现各种材质wafer
预载位有无的高精度稳定检测
  • 半导体
  • 加工
  • 传感器
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探针台设备上的温度控制应用

利用温度控制单元，控制探针
台的温度波动，缩短检测节拍
  • 半导体
  • 检查
  • FA自动化设备
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IC芯片浮起的稳定检测方案

利用智能激光传感器，满足设备的小型
化设计，实现微小芯片浮起的稳定检测
  • 半导体
  • 检查
  • 传感器
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单片清洗机中晶圆的平整检测方案

利用光纤传感器，检测单片清
洗机中晶圆的平整情况
  • 半导体
  • 检查
  • 传感器
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对强腐蚀性有机溶剂进行液位检测的方案

利用具有耐腐蚀性的光纤传感
器，实现有机溶液的液位检测
  • 半导体
  • 检查
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多干扰场景下的液位检测优化方案

利用光纤传感器，排除气泡、水滴等干
扰因素进行液位检测，防止误判产生
  • 半导体
  • 检查
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基于光纤传感的液体有无状态平等检测方案

利用光纤传感器，实现有无液体
状态下的平等检测
  • 半导体
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非透明管液位检测的传感器抗干扰优化方案

使用液位传感器，排除非透明材
质的液位管的影响进行液位检测
  • 半导体
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晶圆清洗机管接头的渗漏监测方案

利用抗化学品腐蚀的漏液检测器，快
速检测管接头处漏液并报警，减少人
工巡检
  • 半导体
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  • FA自动化设备
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清洗机液位智能监测的低成本快速部署方案

利用液位传感器进行检测的快
速部署方案，同时控制成本
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涂胶显影机上的温度控制案例

利用温度均一技术，减少调
温时的人工依赖
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涂胶显影热盘多区高速同步均温控制方案

利用温度均一技术，整体高速同
步升温，各个区域温度保持一致
  • 半导体
  • 维保/厂务
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等离子刻蚀机上的温度控制方案

利用PID温控技术，抑制不同
刻蚀功率下的温度干扰
  • 半导体
  • 加工
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干法刻蚀机上的温度控制案例

利用PID温控技术，缩短升温
时间，提升同步升温效果
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  • 加工
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刻蚀机温度控制升级方案

利用温度控制技术，实现多分
区同步升温，优化刻蚀精度
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单片清洗机中晶圆的平整检测方案

利用光纤传感器，检测单片清
洗机中晶圆的平整情况
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半导体生产中的晶圆定位检查应用

利用光纤单元，对送入工艺腔
室前的晶圆进行定位检查
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晶圆RTP设备上的温度控制方案

利用温度控制技术，实现不同
测温点上的同步升温
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温控技术在RTP快速退火炉上的应用

利用温度控制技术，实现快速
退火炉上的多路高速同步升温
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半导体生产中的晶圆定位检查应用

利用智能激光传感器，对送入工
艺腔室前的晶圆进行定位检查
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半导体生产中的晶圆定位检查应用

利用光纤单元，对送入工艺腔
室前的晶圆进行定位检查
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半导体生产中的晶圆定位检查应用

利用智能激光传感器，对送入工
艺腔室前的晶圆进行定位检查
  • 半导体
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半导体炉管wafer凸出的远距离稳定检测方案

利用光电开关，进行wafer凸出检
测，轻松实现远距离的稳定检测
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原子层沉积设备上的系统控制方案

利用控制技术，提升原子层
沉积设备的性能
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半导体生产中的晶圆定位检查应用

利用智能激光传感器，对送入工
艺腔室前的晶圆进行定位检查
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半导体生产中的晶圆滑出检测应用

利用智能激光传感器，稳定判
断晶圆在研磨垫上的滑出情况
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研磨机wafer预载位的高精度检测方案

利用光电传感器，实现各种材质wafer
预载位有无的高精度稳定检测
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探针台设备上的温度控制应用

利用温度控制单元，控制探针
台的温度波动，缩短检测节拍
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IC芯片浮起的稳定检测方案

利用智能激光传感器，满足设备的小型
化设计，实现微小芯片浮起的稳定检测
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WEE边缘曝光设备的应用案例

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